| dc.creator |
Lozano Fantoba, Manuel |
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| dc.creator |
Perelló García, Carles |
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| dc.creator |
Enrich Sard, Xavier |
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| dc.creator |
Santander Vallejo, Joaquín |
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| dc.date |
2008-06-13T12:40:20Z |
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| dc.date |
2008-06-13T12:40:20Z |
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| dc.date |
2005-03-16 |
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| dc.date.accessioned |
2017-01-31T01:41:31Z |
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| dc.date.available |
2017-01-31T01:41:31Z |
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| dc.identifier |
Publication nr.: ES 2195786 B1 |
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| dc.identifier |
ES 2195786 B1 |
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| dc.identifier |
http://hdl.handle.net/10261/5098 |
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| dc.identifier.uri |
http://dspace.mediu.edu.my:8181/xmlui/handle/10261/5098 |
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| dc.description |
Referencia OEPM: P200201114 .-- Fecha de solicitud: 16/05/2002.-- Titular: Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC). |
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| dc.description |
El objeto de esta invención es un sistema para leer marcas del tamaño de micras en obleas de semiconductor, adaptable a estaciones de prueba para medirlas. Estas pueden ser códigos de barras conteniendo información o marcas especiales para el alineamiento de los ejes de los chips en la oblea con respecto a los ejes de movimiento X e Y de la estación. Consiste en un sistema lector láser de los utilizados en reproductores de CD y permite resolución de micrómetros. El sistema de lectura está fijo y es la oblea, gracias a los motores de la estación de pruebas, quién se mueve. Las ventajas son su simplicidad, puede adaptarse a cualquier estación de pruebas existente y resulta muy barato. Además permite la lectura de microcódigos de barras, conteniendo información relevante de cada chip |
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| dc.description |
Peer reviewed |
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| dc.format |
351271 bytes |
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| dc.format |
application/pdf |
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| dc.language |
spa |
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| dc.rights |
openAccess |
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| dc.subject |
Microcódigos de barras |
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| dc.subject |
Láser |
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| dc.title |
Sistema de alineamiento de obleas y de lectura de microcódigos de barras y de marcas en chips con láser |
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| dc.type |
Patente |
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