Referencia OEPM: P200201114 .-- Fecha de solicitud: 16/05/2002.-- Titular: Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC).
El objeto de esta invención es un sistema para leer marcas del tamaño de micras en obleas de semiconductor, adaptable a estaciones de prueba para medirlas. Estas pueden ser códigos de barras conteniendo información o marcas especiales para el alineamiento de los ejes de los chips en la oblea con respecto a los ejes de movimiento X e Y de la estación. Consiste en un sistema lector láser de los utilizados en reproductores de CD y permite resolución de micrómetros. El sistema de lectura está fijo y es la oblea, gracias a los motores de la estación de pruebas, quién se mueve. Las ventajas son su simplicidad, puede adaptarse a cualquier estación de pruebas existente y resulta muy barato. Además permite la lectura de microcódigos de barras, conteniendo información relevante de cada chip
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