Browsing by Subject SF6 decomposition
Showing results 1 to 1 of 1
| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 30-May-2013 | Modelagem dos processos químicos em plasmas de misturas gasosas usadas na corrosão de silício. Parte 2: SF6 / O2 | - |
| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 30-May-2013 | Modelagem dos processos químicos em plasmas de misturas gasosas usadas na corrosão de silício. Parte 2: SF6 / O2 | - |